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  • system integration

    系統集成

    芯片ESD測試與失效分析

    ESD閂鎖測試系統


    ESD閂鎖測試系統是基于日本日新電子(HANWA ELECTRONIC IND.CO.,LTD)產的分析儀器,主要用于模擬人體模式(HBM)、機器模式(MM)、器件充電模式(CDM)等不同靜電放電模式,并執行閂鎖測試(Latch-up)。該系統具備廣泛的測試參數范圍,包括HBM脈沖電壓±10V至±8000V,MM脈沖電壓±10V至±4000V,以及CDM充電電壓0V至±4000V [1-2]。主要使用:HED-S5000R/ HED-N5000 和HED-C5000R


    CDM電壓±4000V閂鎖電流脈沖±5mA~±1000mA
    測試管腳數256PIN-1024PIN靜放電測試
    支持人體模式(HBM)、機器模式(MM)和器件充電模式(CDM)可模擬不同靜電放電場景對樣品的敏感度進行測試。
    閂鎖測試提供電流脈沖范圍±5mA至±1000mA,電壓脈沖范圍0V至±100V,用于檢測半導體器件的閂鎖效應

    • 該系統能夠模擬人體模式(HBM)、機器模式(MM)以及器件充電模式(CDM)對樣品進行靜電敏感度的測試,并具備Latch up的測試功能 


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